壓電線性位移臺(tái)適用于要求精確定位，完全非磁性或者真空兼容的環(huán)境。直接驅(qū)動(dòng)的原理確保運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)無任何機(jī)械間隙或齒隙，具有亞微米級(jí)移動(dòng)精度、分辨率和平滑的線性運(yùn)動(dòng)。壓電線性位移臺(tái)具有卓越的精度、快速的響應(yīng)和占地面積小、重量輕、功率適中等優(yōu)點(diǎn)。
核磁環(huán)境下的設(shè)備
航空航天中的精確定位
生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域精密微操作
最大行程70mm，最大速度250mm/s
體積小，重量輕，響應(yīng)快，無電磁干擾，斷電自鎖
采用分辨率為0.1μm的直線光柵，利用PID控制技術(shù)，重復(fù)定位精度可達(dá)0.5μm
最大推/拉力可達(dá)16 N
運(yùn)動(dòng)與定位性能 | |
行程 | 70mm |
單軸速度（max） | 250mm/s |
最小位移量 | 0.5μm |
編碼器分辨率 | 0.1μm |
空載時(shí)單軸最大推/拉力 | 14~16N |
臺(tái)子最大負(fù)載 | 3.5Kg |
斷電自鎖力 | 14N |
預(yù)緊力 | 72N |
最大橫向力 | 16N |
微動(dòng)臺(tái)直線度 | ≤3um |
微動(dòng)臺(tái)平面度 | ≤4um |
偏角、導(dǎo)航 | 0.02°；0.01° |
